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J-GLOBAL ID：200902266739319775   整理番号：09A0420302

分光計測を用いた大気圧マイクロ波プラズマトーチの特性評価

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著者 (4件)： 木藤了治 (長野日本無線) ,  谷屋明彦 (長野日本無線) ,  藤澤翔平 (長野工高専) ,  江角直道 (長野工高専)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 56th  号： 1  ページ： 228  発行年： 2009年03月30日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロ波 ,  *プラズマトーチ ,  発光スペクトル ,  *アルゴン ,  キャラクタリゼーション ,  *プラズマ分光 ,  電子温度

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分光計測 ,  大気圧 ,  マイクロ波プラズマ ,  トーチ ,  特性評価