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J-GLOBAL ID：201002251566576118   整理番号：10A0283593

正確に0.2ナノメートルを測れますか?~ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性~

著者 (4件)： 徳田規夫 (金沢大 理工研究域) ,  権太聡 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  牧野俊晴 (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門) ,  山崎聡 (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
資料名： 月刊Material Stage  (マテリアルステージ)
巻： 9  号： 11  ページ： 1-3  発行年： 2010年02月10日 
JST資料番号： L5969A  ISSN： 1346-3926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノテクノロジーの基盤技術の一つである計測技術の開発の一環として,ナノメータスケールの標準試料として,ダイヤモンドナノ構造の利用を提示した。その際,原子レベルで制御された,ボトムアップ法に基づいた成長を用いることで,上記ナノ構造を作製した。この方法で作製したメサ構造表面上の単原子ステップ(高さ0.2nm)は,原子的に平坦であり,大気中で6カ月放置した後も構造に変化が無かった。したがって,この構造は0.2nmの安定な標準として使用できると結論した。

シソーラス用語： *国際規格 ,  *ナノテクノロジー ,  *単位 ,  計測 ,  ナノ構造 ,  *ダイヤモンド ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  三次元 ,  *表面ステップ ,  メサ構造 ,  安定性 ,  単原子層
準シソーラス用語： ナノスケール ,  ナノメータ ,  化学安定性 ,  度量衡

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

引用文献 (5件)：

• VLSI Standards Incorporated [http://www.vlsistandards.com/]
• M. Suzuki, S. Aoyama, T. Futatsuki, A. J. Kelly, T. Osada, A. Nakano, Y. Sakakibara, Y. Suzuki, H. Takami, T. Takenobu, and M. Yasutake, J. Vac. Sci. Technol. A 14 1228(1996)
• N. Tokuda, H. Umezawa, S.-G. Ri, M. Ogura, K. Yamabe, H. Okushi, and S. Yamasaki, Diamond. Relat. Mater.17 1051(2008)
• N. Tokuda, H. Umezawa, K. Yamabe, H. Okushi, and S. Yamasaki, Diamond Relat. Mater. in press [doi: 10.1016/j. diamond.2009.11.015]
• N. Tokuda, H. Umezawa, H. Kato, M. Ogura, S. Gonda, K. Yamabe, H. Okushi, and S. Yamasaki, Appl. Phys. Express 2 055001(2009)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダイヤ ,  ナノスケール ,  標準試料 ,  可能性