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J-GLOBAL ID：200902200334953743   整理番号：09A0590899

原子的に制御されたダイアモンド表面を用いたナノメートル尺度の高さ標準

Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface

著者 (10件)： TOKUDA Norio (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  UMEZAWA Hitoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  KATO Hiromitsu (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  OGURA Masahiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  GONDA Satoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  YAMABE Kikuo (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  OKUSHI Hideyo (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  OKUSHI Hideyo (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  YAMASAKI Satoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  YAMASAKI Satoshi (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 2  号： 5  ページ： 055001.1-055001.3  発行年： 2009年05月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子的に制御されたダイアモンド表面を用いることによりナノメートル尺度の高さ標準を作ることに成功した;原子的に平坦な表面上に(111)ダイアモンドの2原子層ステップをもつ等辺三角形島。ダイアモンドのこの標準は絶対 ディジット尺度を与え,極端に高い安定性の絶対長さをもつ結晶構造により決定される0.206nmステップをもつ。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *表面ステップ ,  層 ,  *標準器 ,  結晶構造 ,  規格値
準シソーラス用語： 2原子層 ,  *ナノメートル ,  *メートル

分類 (1件)： 単位,標準,標準器,定数  (AD03000E)

引用文献 (12件)：

• VLSI Standards Incorporated. http://www.vlsistandards.com/
• SUZUKI, M. J. Vac. Sci. Technol. A. 1996, 14, 1228
• MORITA, M. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 562
• HENRION, W. Appl. Surf. Sci. 2002, 202, 199
• ISBERG, J. Science. 2002, 297, 1670

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子 ,  ダイアモンド ,  尺度 ,  標準