ホモエピタキシャル水平成長による原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の形成

TOKUDA Norio; UMEZAWA Hitoshi; RI Sung-gi; RI Sung-gi; OGURA Masahiko; YAMABE Kikuo; YAMABE Kikuo; OKUSHI Hideyo; YAMASAKI Satoshi; YAMASAKI Satoshi

文献

J-GLOBAL ID：200902221621167284 整理番号：08A0844703

ホモエピタキシャル水平成長による原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の形成

Atomically flat diamond (111) surface formation by homoepitaxial lateral growth

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巻： 17 号： 7-10 ページ： 1051-1054 発行年： 2008年07月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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原子間力顕微鏡で面の特性化を行って,マイクロ波プラズマ増強CVD法によるダイヤ(111)膜のホモエピタキシャル成長の過程を調べた。指標としてメサ構造を使用して,(111)ダイヤの水平成長時の表面形態の発達を可視化した。水平成長は原子的に平坦な表面を形成し,(111)ダイヤの数百nm幅にわたる原子的に平坦なテラスと単一の二層ステップを示す。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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