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J-GLOBAL ID：201602242762360868   整理番号：16A0687410

10×(Al/Ti))/Si多層系の単一および二波長レーザパルス誘起変化

Single- and dual-wavelength laser pulses induced modification in 10×(Al/Ti)/Si multilayer system

著者 (7件)： Salatic B. (University of Belgrade, Institute of Physics Belgrade, Pregrevica 118, 11080 Belgrade, Serbia) ,  Petrovic S. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Science-Vinca, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Perusko D. (University of Belgrade, Institute of Nuclear Science-Vinca, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Cekada M. (Jozef Stefan Institute, Jamova 39, 1000 Ljubljana, Slovenia) ,  Panjan P. (Jozef Stefan Institute, Jamova 39, 1000 Ljubljana, Slovenia) ,  Pantelic D. (University of Belgrade, Institute of Physics Belgrade, Pregrevica 118, 11080 Belgrade, Serbia) ,  Jelenkovic B. (University of Belgrade, Institute of Physics Belgrade, Pregrevica 118, 11080 Belgrade, Serbia)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 360  号： PB  ページ： 559-565  発行年： 2016年01月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 実験的および数値的に,単一および二波長でのナノ秒レーザパルスにより,多層10×(Al/Ti)/Si系で生成したアブレーションクレータの表面形態を調べた。Si(100)基板上にイオンスパッタリングにより260nmの全厚みまで堆積した10層の(Al/Ti)ニ層膜を含む複雑な多層膜に,0.25-3.5×10⁹Wcm^-2の範囲のいろいろな放射照度でレーザを照射した。単一パルスレーザは,532nmまたは1064nmのいずれか,または第二高調波と1064nmの間のパルス当たりのエネルギー比を1:10として両レーザ光を同時に空気中で垂直入射した。吸収されたレーザエネルギーのほとんどは急速に熱に転換し,試料表面の組成および形態に大きな変化をもたらした。結果は,クレータ形成による表面粗さの増加,特徴的ナノ構造の形成,流体力学的特徴をもつ外観および表面物質のアブレーションを示した。二波長パルスにおいて第二高調波の一部(10%)を加えると,単一レーザパルスによる10×(Al/Ti)/Si系の変化はより広く深いまたはそのいずれかのクレータ形成を示した。数値計算は,アブレーション過程の主な物理的機構が相爆発ではない通常の蒸発であることを示した。計算および実験結果は,全体の照度範囲で比較的よく一致し,モデルを複合Al/Ti多層系に適用できた。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アルミニウム ,  *チタン ,  *多層膜 ,  ウエハ【IC】 ,  *レーザ損傷 ,  *レーザアブレーション ,  クレータ ,  *モルフォロジー ,  *表面構造 ,  表面粗さ ,  ナノ構造 ,  *数値計算 ,  フルエンス ,  金属薄膜 ,  レーザ
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  パルスレーザアブレーション ,  表面形態 ,  レーザフルエンス ,  二波長レーザ

著者キーワード (4件)： Dual-wavelength pulses ,  Laser ablation ,  Crater formation ,  Nanostructures

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： Al ,  Ti ,  Si ,  多層 ,  二波長レーザ ,  パルス ,  誘起