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J-GLOBAL ID：201602264289901521   整理番号：16A1059187

単一陰極カスケードバイアスの特性電圧アークプラズマ【Powered by NICT】

Characteristics of Single Cathode Cascaded Bias Voltage Arc Plasma

著者 (9件)： Ou Wei (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Deng Baiquan (Southwestern Institute of Physics) ,  Zeng Xianjun (HOPE Innovations Inc.) ,  Gou Fujun (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Xue Xiaoyan (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Zhang Weiwei (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Cao Xiaogang (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Yang Dangxiao (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University) ,  Cao Zhi (Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University)
資料名： Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban)  (Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban))
巻： 18  号： 6  ページ： 627-633  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2608A  ISSN： 1009-0630  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カスケードバイアス電圧アークプラズマ源を用いた単一陰極は,以前の銅チェンバの代わりに,より良い診断観察を提供し,プラズマ発光にアクセスする新しい石英カソード室を開発した。カソード室冷却方式は,また光路の光学薄膜性能を向上させるために冷却水を含まない発光だけで自然に冷却できるように改良する。カスケードバイアス電圧アーク放電アルゴンプラズマ中の散逸パワー,発光分光法(OES)とLangmuirプローブを用いて調べたを記述するために開発した単一パラメータ物理モデル。実験では,50Aから100Aまで放電電流,アルゴン流量から800sccmから2000sccmと0.1Tと0.2Tの磁場を選択した。結果は以下を示した:(a)平均抵抗率と平均電流密度の間の関係はη∝j(-0.63369)として経験的スケーリング則を示し,アーク中の消費電力は,充填因子と強い関連性を持っている;(b)石英による,アルゴンイオン発光線は容易に観察され,340nmと520nmの間の波長,Ar +-434.81nmおよびAr +-442.60nm線の放出を支配し,強度はアーク電流と共に増加し,入口アルゴン流量で減少しているおよび(c)電子密度と温度は90Aのアーク電流と0.2Tの磁場の条件下で,それぞれ,2.0×10(19)m(-3)および0.48eVに達することができる。n_e動径プロファイルの半値幅は,少数の電子Larmor半径に等しいapproximativelyし,実験におけるプラズマジェットの直径と見なすことができる。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 石英 ,  アーク放電 ,  銅 ,  消費電力 ,  電気抵抗率 ,  プラズマジェット ,  *アルゴン ,  電子密度 ,  電流密度 ,  Langmuir探針 ,  プラズマ源 ,  発光 ,  アーク電流 ,  *アークプラズマ
準シソーラス用語： バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： プラズマ源 ,  カスケードアーク ,  石英チェンバ ,  単陰極

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陰極 ,  カスケード ,  バイアス ,  アークプラズマ