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J-GLOBAL ID：201702223433151930   整理番号：17A0406825

自立CVDダイヤモンドのY_2O_3反射防止膜の結晶構造と特性に及ぼす酸素へのアルゴン比の影響【Powered by NICT】

Effects of oxygen-to-argon ratio on crystalline structure and properties of Y₂O₃ anti-reflection films for freestanding CVD diamond

著者 (11件)： Hua Chenyi (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Chen Liangxian (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Li Chengming (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Wang Meng (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Guo Jianchao (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Liu Jinlong (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Yan Xiongbo (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Zhao Yun (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  An Kang (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Wei Junjun (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China) ,  Hei Lifu (Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 693  ページ： 468-473  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Y_2O_3反射防止膜をラジオ周波数マグネトロンスパッタリングにより自立化学蒸着(CVD)ダイヤモンド基板上に堆積した。微細構造,組成,光学的性質と機械的性質に及ぼす酸素-アルゴン比の影響を,X線回折,透過型電子顕微鏡,X線光電子分光法,分光偏光解析法,Fourier変換赤外分光法,及びナノインデンテーションで分析した。結果はY_2O_3膜の結晶構造は酸素-アルゴン比の増加とともに立方晶から単斜晶することを示した。一方,単斜晶相を持つ膜の非化学量論性の程度は立方晶相を持つ膜よりも高かった。単斜晶および立方晶Y_2O_3膜は8 12μm長波長赤外(LWIR)領域におけるダイヤモンド上の反射防止効果を有していた。Y_2O_3膜被覆ダイヤモンドの最大透過率は,より低波長,酸素-アルゴン比の増加と共に減少することをY_2O_3膜の反射指数に起因してにシフトした。立方晶相を持つY_2O_3膜は摩耗と塑性変形に対する高い抵抗性を有していた。,立方晶相を持つY_2O_3膜は長波長赤外応用のための非常に適していた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 非化学量論 ,  *アルゴン ,  波長 ,  *ダイヤモンド ,  *反射防止膜 ,  塑性変形 ,  ナノインデンテーション ,  *結晶構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  単斜晶系 ,  *酸素 ,  透過率 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： *反射防止 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Y_2O_3反射防止膜 ,  CVDダイヤモンド ,  Microstructure ,  性質

分類 (4件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  固相転移  (BL04020G) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自立 ,  CVDダイヤモンド ,  反射防止膜 ,  結晶構造 ,  酸素 ,  アルゴン