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J-GLOBAL ID:201702239609355791   整理番号:17A0449268

修正公式により評価した結晶化速度論と0.5ZnO O5CdO薄膜におけるCdO及びZnOの光学的性質【Powered by NICT】

Crystallization kinetics evaluated by the modified formula and optical properties of CdO and ZnO in 0.5ZnO-0.5CdO thin films
著者 (10件):
資料名:
巻: 702  ページ: 509-519  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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0.5ZnO 5CdO薄膜のCdOとZnOの改良式及び光学的性質により評価し結晶化速度論を調べた。キャラクタリゼーションを,すれすれ入射X線回折(GIXRD),透過型電子顕微鏡(TEM),制限視野電子回折(SAED),高分解能TEM(HRTEM),紫外-可視(UV-Vis)分光光度法を用いた。薄膜を温度573Kから773K10 60分間でアニールしたとき,GIXRDの結果は,すべての膜が主要及び第二相としてCdO及びZnOから構成され,それぞれであることを示した。さらに,CdSiO_3の微量相は,723Kと773K,45分及び60分間,でアニールした薄膜に対して出現し,それぞれ,773Kから30分間で熱処理したとき,CdSiO_3も出現した。CdOの結晶化度はアニーリング温度と時間と共に増加し,一方ZnOの結晶化度は温度と時間とともにわずかに増加する。0.5ZnO 5CdO薄膜中のZnOとCdO結晶化の活性化エネルギーは49.51kJ/molと112.45kJ/molであった。CdOとのZnOの結晶化は,改良式:ln(11 α ′)=[30t×exp( 49.51 × 103 R T)]0.24およびln(11 α ′)=[104820t×exp( 112.45 × 103 R T)]0.27の573K≦T≦773Kと10分≦t≦60分間で記述できた。すべての膜は可視領域で500nm以上の波長範囲でほぼ80%の平均光透過率を有していると,薄膜は573 773Kで60分間アニールし,青方偏移効果を示し,ZnOの結晶度は5.12%から20.91%に増加すると,薄膜のバンドギャップエネルギーは2.68から3.10eVに増加した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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