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J-GLOBAL ID：201702247727843781   整理番号：17A0535152

1.06ΜMレーザにより誘起されたケイ素の損傷進展を調べた。【JST・京大機械翻訳】

Cat’s eye echo detecting the damage evolution of silicon induced by 1.06 μm laser

著者 (5件)： Lei Peng (State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology(Electronic Engineering Institute)) ,  Sun Ke (State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology(Electronic Engineering Institute)) ,  Zhang Yufa (State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology(Electronic Engineering Institute)) ,  Nie Jinsong (State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology(Electronic Engineering Institute)) ,  Sun Xiaoquan (State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology(Electronic Engineering Institute))
資料名： Hongwai yu Jiguang Gongcheng  (Hongwai yu Jiguang Gongcheng)
巻： 45  号： 12  ページ： 1206007-1-1206007-7  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2521A  ISSN： 1007-2276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： レーザ照射の下での焦点面の上硅の損傷進展を,猫眼回波の変化を用いて研究した。レーザ照射時間の増加とともに,エコー画像のジッタが発生し,新しいテクスチャが発生し,焦点面上のケイ素が損傷を受けることを判定した。損傷に対応するエコー画像の面積は絶えず拡大し、損傷区域内のスポット構造は次第に複雑になり、しかもスポット面積はだんだん減少し、最終的に動態安定な損傷エコー画像を形成する。エコー画像の変化に従って,シリコンの損傷形態を分析し,表面酸化,小スケール形態損傷,損傷面積拡大などの現象が現れた。エコー画像のテクスチャ特徴と焦点面の損傷形態との対応関係を分析し、エコー画像の損傷面の自己相関性と損傷度は損傷形態の粗さの増大に伴い減少すると考えられる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ケイ素 ,  画像 ,  小規模 ,  ジッタ ,  レーザ照射 ,  *レーザ ,  自己相関
準シソーラス用語： テクスチャ特徴 ,  表面酸化 ,  テクスチャ ,  焦点面 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： cat′s eye echo-wave ,  micro damage morphology ,  evolution ,  texture feature

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  誘起 ,  ケイ素 ,  損傷進展