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J-GLOBAL ID：201702255502578109   整理番号：17A0445581

アークイオンめっきにより堆積したAlCrSiON皮膜のミクロ組織と機械的性質に及ぼす酸素の影響【Powered by NICT】

Effect of incorporating oxygen on microstructure and mechanical properties of AlCrSiON coatings deposited by arc ion plating

著者 (7件)： Geng Dongsen (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Li Haixu (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Zhang Quan (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Zhang Xiaobo (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Wang Chengyong (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Wu Zhengtao (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Wang Qimin (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 310  ページ： 223-230  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 48at%酸素添加によるAlCrSiON皮膜は,Ar N_2O_2混合雰囲気中でアークイオンプレーティング法により堆積した。AlCrSiONコーティングの元素組成,微細構造,残留応力,及び機械的性質に及ぼす様々な酸素含有量の影響を調べた。結果は酸素含有量は流量比O_2/(O_2+N_2)を0から018at.%までで0から48at.%に増加することを示した。AlCrSiNコーティングはfcc-CrNとc-AlNから成るナノ結晶構造を明らかにした。酸素含有量が16at.%に増加するとc-AlNは固溶体型(Cr, Al)Nを形成するfcc-CrNに溶解する。酸素量の更なる増加は48at.%までのC(Cr, Al)Nおよびc-(Cr, Al)(O,N)相の両方が被覆で見られた。AlCrSiON被覆は基板回転に起因する~8nmの間隔で繰り返しナノ多層構造を示した。硬さとAlCrSiON皮膜の残留応力の両方は減少するO含有量は増加した。AlCrSiON被覆の接着強さは最初増加し,その後酸素含有量の増加と共に減少した。77Nの記録された最大値は8at.%酸素被覆で得られた。皮膜中の溶存酸素は室温で摩擦係数にわずかな影響を明らかにした。AlCrSiON皮膜の平均摩擦係数は600 800°CでO自由AlCrSiN被覆のそれと比較して有意に減少した。低O含有量(≦16at.%)AlCrSiON被覆は高温で優れた耐摩耗性を有していた。しかし,添加したOはAlCrSiON被覆の耐摩耗性を劣化させる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *皮膜 ,  摩擦係数 ,  窒化アルミニウム ,  アルゴン ,  硬度 ,  残留応力 ,  高温 ,  接着強さ ,  *酸素 ,  耐摩耗性 ,  固溶体 ,  溶存酸素 ,  多層構造
準シソーラス用語： 酸素含有量 ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： AlCrSiON被覆 ,  Microstructure ,  残留応力 ,  Hardness ,  トライボロジー挙動

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： アークイオンめっき ,  堆積 ,  皮膜 ,  ミクロ組織 ,  機械的性質 ,  酸素