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J-GLOBAL ID：201702262499487565   整理番号：17A0172667

単結晶シリコンのナノ機械的応答とその相転移機構【JST・京大機械翻訳】

Nano-Mechanical Behavior and Phase Transformation Mechanism of Monocrystalline Silicon

著者 (3件)： Han Jing (School of Mechanical and Electrical Engineering, China University of Mining and Technology(Xuzhou)) ,  Sun Jiapeng (College of Mechanics and Materials, Hohai University) ,  Fang Liang (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University)
資料名： Tribology  (Tribology)
巻： 36  号： 5  ページ： 562-570  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2407A  ISSN： 1004-0595  CODEN： MAXUE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコンは大規模集積回路、/、半導体工業では代替できないが、現在シリコンの塑性変形及びその相転移メカニズムに対する理解は未成熟である。大規模分子動力学シミュレーション(100)面の単結晶シリコンの球状ダイヤモンド状炭素の圧入過程におけるナノ力学反応、相転移過程と相分布規則を研究した。結果は以下を示す。弾性変形段階における荷重-深さ曲線はHERTZ接触理論の予測結果と一致した。両者の分離点は塑性変形の発生を正確に予測した。ダイヤモンド構造のI相は,体構造のBCT5相変態によって,単結晶シリコンの初期塑性変形を引き起こした。初期に形成されたBCT5相は、表面に一つの反転したピラミッド構造を形成した。SI-II相の形成は少し遅れる。大きな荷重の下では,BCT5は4つの対称のパターン分布を形成する。それは,小さな圧力条件の下で,より大きいBCT5相に対して,SI-II相の開発に,より有益である。除荷後に生成した高圧SI-II相とBCT5相は全て非晶質シリコンに変換した。研究結果により、単結晶シリコンの圧入におけるBCT5相の存在を確認した。単結晶シリコンの熱変形の相転移機構を明らかにし、即ち、IはBCT5とSI-II相に転換した。また,単結晶の熱変形に対するIの相転移の影響を強調した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アモルファスシリコン ,  弾性変形 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *相転移 ,  熱変形 ,  塑性変形 ,  除荷 ,  *ケイ素 ,  *単結晶 ,  高圧 ,  LSI【IC】 ,  分子動力学シミュレーション ,  *単結晶シリコン
準シソーラス用語： I相 ,  圧入 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： nonocrystalline silicon ,  nano-indentation ,  phase transformation ,  plastic deformat

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 単結晶シリコン ,  機械的応答 ,  相転移