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J-GLOBAL ID：201702263965681247   整理番号：17A0204730

ナノ集積回路配線モデリングとリソグラフィーシミュレーションにおける大規模並列計算法【JST・京大機械翻訳】

Massively parallel computing in nano-VLSI interconnect modeling and lithography simulation

著者 (5件)： Zhu Hengliang (State Key Laboratory of ASIC and System, Fudan University) ,  Zeng Xuan (State Key Laboratory of ASIC and System, Fudan University) ,  Cui Tao (State Key Laboratory of Scientic and Engineering Computing, Academy of Mathematics and Systems Science, Chinese Academy of Sciences) ,  Yan Changhao (State Key Laboratory of ASIC and System, Fudan University) ,  Zhang Linbo (State Key Laboratory of Scientic and Engineering Computing, Academy of Mathematics and Systems Science, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Zhongguo Kexue Xinxi Kexue  (Zhongguo Kexue Xinxi Kexue)
巻： 46  号： 10  ページ： 1372-1391  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2771A  ISSN： 1674-7267  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 集積回路の規模は複雑で、構造が複雑で、集積回路の製造技術がナノ規模に入るに従い、複雑な製造プロセスにおけるプロセス変動は回路の性能に深刻な影響を及ぼし、集積回路の設計に巨大な挑戦をもたらした。大規模MAXWELL方程式の数値計算において,集積回路モデリングとリソグラフィーシミュレーションは,高複雑性と大規模な計算を必要とする。本論文では、973プロジェクトの援助に基づき、中国科学院科学と工学計算国家重点実験室陳志明教授が提案した並列適応有限要素理論と大規模並列計算プラットフォームの発展に基づくナノ集積回路の相互接続モデリングとリソグラフィーシミュレーションの大規模並列計算方法を総説した。集積回路の配線モデリングにおいて,寄生容量パラメータ抽出のための並列自己適応有限要素法(PARAFEMCAP)を,本論文において提示して,それは,百とないしCPUコアで実行することができる並列寄生容量抽出を実現した。1536 CPUコア計算プラットフォーム上で75.7%の並列効率を達成した。一方,境界要素法とランダム法を結合したハイブリッドアルゴリズムアルゴリズム-WOSを紹介し,導体と介質面の電荷密度計算に応用し,この方法はランダムな法天並列性の優位性を持ち,大規模並列計算を実現しやすい。本論文では,5120コア計算プラットフォーム上で,近似線形の並列加速度を検証した。フォトリソグラフィーシミュレーションにおいて,適応可能な有限要素計算フレームワーク(PHG)に基づいて,集積回路のための並列適応シミュレーション法を提案し,散乱の境界条件を処理するために異方性の一軸完全整合法を採用した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *集積回路 ,  数値計算 ,  境界条件 ,  境界要素法 ,  相互接続 ,  線形性 ,  有限要素法 ,  *配線 ,  加速度 ,  漂遊容量 ,  *モデリング ,  パラメータ抽出 ,  複雑性 ,  *リソグラフィーシミュレーション
準シソーラス用語： *大規模並列計算 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： VLSI ,  modeling ,  parasitic extraction ,  lithography ,  finite element method ,  random walk

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積回路配線 ,  モデリング ,  リソグラフィーシミュレーション ,  大規模並列計算