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J-GLOBAL ID：201702271789863581   整理番号：17A0369662

原子層堆積により作製したAl_2O_3ZnO超薄多層膜の屈折率とバンドギャップ変化【Powered by NICT】

Refractive index and bandgap variation in Al₂O₃-ZnO ultrathin multilayers prepared by atomic layer deposition

著者 (10件)： Lopez J. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Lopez J. (CONACYT - Centro de Nanociencias y Nanotecnologia Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Solorio E. (Universidad Autonoma de Baja California, Km. 103 Carretera Tijuana-Ensenada, C.P. 22860, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Borbon-Nunez H.A. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Borbon-Nunez H.A. (CONACYT - Centro de Nanociencias y Nanotecnologia Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Castillon F.F. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Machorro R. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Nedev N. (Instituto de Ingenieria, Universidad Autonoma de Baja california, Blvd. Benito Juarez S/N, C.P. 21280, Mexicali, B.C., Mexico) ,  Farias M.H. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico) ,  Tiznado H. (Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 691  ページ： 308-315  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,Si(100)基板上に原子層堆積(A LD)法により成長させたAl_2O_3ZnO二重層の超薄多層膜の屈折率とバンドギャップ挙動の研究に焦点を当てた。~100nmの全厚さを得るために多層構造スタックは一定厚さAl_2O_3(2 nm)と種々の厚さのZnO膜の交互層から構成されている。種々の2の厚さ比をもつ二層膜に基づく10試料のセットを調製した,ここでXはZnO層の厚さを意味する。XはZnO前駆体のサイクル数(N)に比例し,1年から100年まで変化した。試料形態を原子間力顕微鏡により研究し,結果は多層膜の表面粗さが0.2nmから1.2nmに変化することを示し,ZnO層の厚さは増加した。全ての場合において,粗さ値は多層の全厚さの2%以下のままである。各多層試料の屈折率n(λ)と光学バンドギャップ,E,分光偏光解析法(SE)により研究した。一般発振器光モデルは全厚さ,屈折率および吸収係数を得るために実験データを適合させるために利用した。断面モード走査型電子顕微鏡像は,多層全厚さを検証し,光学モデルの精度を確認した。二層厚さが小さいとき屈折率はAl_2O_3屈折率に近い値から有意に変化し,厚い二重層のためのZnOに密接に対応する値に達した。屈折率,二重層の厚さの関数として,1.63と2.3の間で変化し,370nm(紫外領域),高感度を示した。添加では,光学バンドギャップエネルギー,E,Taucモデルを用いて決定した,は二分子層の厚さが増加すると減少し,ΔE_g~1.6eVの最大変化であった。これらの結果は,Al_2O_3ZnO材料の屈折率と光学バンドギャップは二分子層の厚さの関数として系統的に調節されることを明らかにした。このような挙動は,オプトエレクトロニクス応用のために非常に重要であり,特にUVスペクトル領域で応答をもつデバイスの開発。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学ギャップ ,  *バンドギャップ ,  紫外スペクトル ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  *多層膜 ,  二分子層 ,  多層構造 ,  *多層 ,  *屈折率 ,  オプトエレクトロニクス ,  吸収係数 ,  *酸化亜鉛 ,  二層 ,  二重層

著者キーワード (4件)： 調整可能な屈折率 ,  光バンドギャップ変調 ,  超薄多層膜 ,  原子層堆積

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子層堆積 ,  作製 ,  多層膜 ,  屈折率 ,  バンドギャップ