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J-GLOBAL ID：201702275027342652   整理番号：17A0611997

pシリコン基マイクロボロメータ

p-SILICON BASED MICROBOLOMETER

著者 (2件)： BANOBRE Asahel (New Jersey Inst. Technol., NJ, USA) ,  RAVINDRA N.M. (New Jersey Inst. Technol., NJ, USA)
資料名： Materials Science & Technology Conference and Exhibition  (Materials Science & Technology Conference and Exhibition)
巻： 2016 Vol.2  ページ： 1121-1132  発行年： 2016年 
JST資料番号： E0697C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非冷却ボロメータ赤外線検出器の熱検知要素としてp型低ドープシリコンの適用を検討した。はじめにマイクロボロメータの構造,機能,材料に関する基礎的事項を考察し,多層行列法を用いて薄膜の光学特性を計算するソフトウェアMulti-Radの適切さを,ブラックゴールド(bAu)の光学特性についての文献報告で確認した。このソフトウェアを用いてbAuを赤外線吸収体層,p型低ドープシリコン(p-Si)を熱検知体層とする多層ボロメータ構造の反射率,透過率,吸収率をシミュレートした。この結果,bAuとp-Siの多層構造の赤外線の吸収率が高く透過率が低いことが明らかになった。p-Siのマイクロボロメータの熱検知要素への適用の可能性は高い。

シソーラス用語： P型半導体 ,  ケイ素 ,  ドーピング ,  *ボロメータ ,  *赤外検出器 ,  *Si半導体検出器 ,  多層構造 ,  *多層膜 ,  マトリックス法 ,  数値計算 ,  ソフトウェア ,  赤外線 ,  吸収体 ,  反射率 ,  透過率 ,  吸収係数 ,  計算機シミュレーション ,  検出
準シソーラス用語： マイクロボロメータ

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光電デバイス一般  (NC03081P)

タイトルに関連する用語 (2件)： シリコン ,  マイクロボロメータ