特許
J-GLOBAL ID:201103031996574020

3次元構造体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  和田 充夫 ,  岡部 博史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-064359
公開番号(公開出願番号):特開2009-222415
特許番号:特許第4508253号
出願日: 2008年03月13日
公開日(公表日): 2009年10月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】複数の貫通開口部が形成された基板部材と、 上記貫通開口部のそれぞれの縁部に固定される固定部を有する可動構造に形成された微小3次元構造体要素と、 上記複数の貫通開口部及び上記微小3次元構造体要素全体を覆う弾性体とを備え、 上記基板部材における上記貫通開口部のそれぞれの周囲近傍に複数の係合用孔部が形成され、上記複数の係合用孔部内に上記弾性体が充填されて、上記弾性体が上記基板部材に固定されている、3次元構造体構成用素子。
IPC (4件):
G01L 5/16 ( 200 6.01) ,  G01L 5/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01L 5/16 ,  G01L 5/00 101 Z ,  H01L 29/84 Z ,  B81B 3/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
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