インゴットの切断方法と切断装置及びウェーハ並びに太陽電池の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133102
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332273
特許番号：特許第4455804号
出願日： 2002年05月08日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)単結晶のインゴットの表面に、結晶構造の劈開面に対応する結晶軸方向に沿ってイオンビーム、電子ビーム、非荷電粒子ビームのうちの少なくとも1つを含む加工用のビームをあて、前記単結晶のインゴットの表面に前記結晶軸方向に沿って格子欠陥を生成するステップと、 (b)前記単結晶のインゴットの表面において、前記加工用のビームの照射により前記結晶軸方向に沿って格子欠陥が生成された箇所に、ナイフエッジをたてることで、衝撃を与えて劈開を生じさせ、劈開面を切断面とするウェーハに切断するステップと、を含む、ことを特徴とする切断方法。

IPC (3件)：