特許

J-GLOBAL ID：201103052151258801

液中プラズマ発生装置、薄膜形成方法およびシリコンカーバイト膜

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発明者： 豊田 洋通 ,  野村 信福
出願人/特許権者： 株式会社テクノネットワーク四国
代理人 (1件)： 松島 理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-313979
公開番号（公開出願番号）：特開2004-152523
特許番号：特許第3624239号
出願日： 2002年10月29日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液体中で気泡を発生させるための加熱手段と、液体中で電磁波を継続的に放射するための電磁波プローブを有する液中プラズマ発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  B01J 3/00 ,  B01J 19/08 ,  C01B 31/02

FI (4件)：

H05H 1/24 ,  B01J 3/00 J ,  B01J 19/08 H ,  C01B 31/02 101 F