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J-GLOBAL ID:201103089847793893

プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置

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発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 松島 理 ,  河野 隆一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-098193
公開番号(公開出願番号):特開2003-297598
特許番号:特許第3624238号
出願日: 2002年04月01日
公開日(公表日): 2003年10月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】液体中に超音波を照射して気泡を発生させるとともに、液体中で電磁波発生装置の先端より当該液体中に電磁波を継続的に照射して気泡中にプラズマを発生させる方法。
IPC (7件):
H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46
FI (8件):
H05H 1/24 ,  B01J 19/08 H ,  B01J 19/10 ,  C23C 14/24 S ,  C23C 14/24 T ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  H05H 1/46 B

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