抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,化学,生物,医学,工学の広い分野において,マイクロデバイスの利用が期待され,各分野において盛んに研究が進められている。著者らは分子センサーの一種である感圧塗料(PSP)による固体表面の圧力計測技術に着目している。PSPを用いた圧力計測法は色素分子と酸素分子との相互作用を利用した分子レベルの手法であり,原理的に高真空領域やマイクロ・ナノデバイス周りの流れ場などクヌッセン数の高い領域における流れ場の解析に適している。著者らはこれまでにLangmuir-Blodgett(LB)法によってPSPを分子膜化したPSMF(Pressure-Sensitive Molecular Film)を作製し,圧力感度,表面粗さの評価を行うとともに,マイクロスケールでの圧力分布計測を実施している。またPSMFに比べ簡便な手法として,マイクロ流路そのものをPSP化したPSCC(Pressure-Sensitive Channel Chip)も開発し,マイクロスケールでの圧力分布計測を可能としている。しかし,PSMFでは計測の高SN比化が課題として残っている。PSCCでは,その膜厚が空間分解能に与える影響に常に気を付ける必要がある。