特許
J-GLOBAL ID：201303028335739906 プラズマ発生装置
出願人/特許権者：
有限会社貴和美術
有限会社貴和美術 について
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-029930
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157303
出願日： 2012年01月27日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】 電磁波を電磁波が照射される空間の外へ取り出し、その取り出した電磁波を反応容器に供給してプラズマを発生させてプラズマを効率良く発生させることができるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】 電磁波を照射する閉鎖空間6と、該閉鎖空間6に一方端部7が挿入されて他方端部8が該閉鎖空間6の外に設けられたアンテナ4と、アンテナ4の他方端部先端9を内設した、閉鎖空間6の外に配置された反応容器3と、存在することによって閉鎖空間6内のインピーダンスが整合するインピーダンス調整手段15とから構成し、アンテナ4の一方端部7で定常波の電磁波を受信して他方端部8の先端9でプラズマを発生させるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電磁波を照射する閉鎖空間と、該閉鎖空間に一方端部が挿入されて他方端部が該閉鎖空間の外に設けられたアンテナと、該アンテナの他方端部先端を内設した、前記閉鎖空間の外に配置された反応容器とからなり、前記アンテナの一方端部で電磁波を受信して前記他方端部の先端にてプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)： FI (3件)：
Fターム (6件)：
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