特許
J-GLOBAL ID：201303071513824770
高解像検出装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-050044
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225563
特許番号：特許第4724833号
出願日： 2006年02月27日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光源から得られた2つの光束を試料の測定面上で干渉させて試料を定在波照明を行い、2つの光束のうち一方の光路を変化させ位相差を持たせることにより、定在波照明をシフトさせるための照明部と、
位置i(i=1〜n)における複数の受光素子を有し、試料からの散乱光を含む測定光の受光量Xiを測定する受光部と、
前記照明部及び前記受光部により、試料の光散乱情報を含む画像を取得し、解像処理を実行する処理部と、
を備え、
前記処理部は、測定面上の位置jにおける照明光の強度を示す照明光量Ij、及び、測定面上の位置jと受光素子の位置iとの関係に応じた回折の程度を示す回折寄与率D(|i-j|)を得て、
前記処理部は、位置i(i=1〜n)における複数の受光素子を有する受光部により、試料からの散乱光を含む測定光のn個の受光量Xiを測定し、
前記処理部は、前記照明部を制御して、2つの光束のうち一方の光路を変化させ位相差を持たせることにより、定在波照明の位置をm通りシフトして、少なくとも前記n個の受光量Xiを測定することを繰り返し、
前記処理部は、受光量Xi及び照明光量Ij及び回折寄与率D(|i-j|)により、試料の位置jにおける試料分布を表す散乱効率αjを未知数としたn個の次式に示す方程式に基づき、m通りの定在波照明により得られたn×m個の連立方程式を解くことにより、散乱効率αjを求め、
前記処理部は、求めた散乱効率αjを記憶部に記憶又は出力部に出力する
高解像検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G01N 21/84 ( 200 6.01)
, G01N 21/47 ( 200 6.01)
G01N 21/956 A
, G01N 21/84 E
, G01N 21/47 Z
