テラヘルツ分光システム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：福田賢三 , 福田伸一 , 加藤恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-260240
公開番号（公開出願番号）：特開2015-117964
出願日： 2013年12月17日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

【課題】テラヘルツ波帯時間領域分光用で、発生器と検出器を一体にし、1回の時間掃引でリファレンス波形とサンプル波形を取得することができる小型テラヘルツ分光システムを提供する。【解決手段】第1光学結晶領域上に設けられた光パルス-テラヘルツ波変換部と、第2光学結晶領域上に設けられたテラヘルツ波検波部を有し、光パルス-テラヘルツ波変換部からテラヘルツ波検波部に反射を介することなく伝搬する直接テラヘルツ波が伝搬する第1経路を有し、第2光パルスの検波部への到着時点は、直接テラヘルツ波の検波部への到着時点から試料からのテラヘルツ透過波または反射波が波検波部への到着時点までを含む時間帯で、この時間帯を掃引するものとする。第1と第2光学結晶領域とは、同じ光学結晶上の領域であってもよい。発生器と検出器との一体ものを把持できるようにしてプローブとしてもよい。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

第1光パルスの照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波源と、発生したテラヘルツ波を被測定試料に照射する構成と、被測定試料または該被測定試料に設けられた反射手段で反射されたテラヘルツ透過波または反射波を入力し検波する検波手段と、を備え、上記検波手段は第2光パルスの照射により照射時点のテラヘルツ透過波または反射波強度を出力し、第1光パルス照射時点に対する第2光パルス照射時点の時間を変えて得た上記出力から上記テラヘルツ波の波形を取得することのできるテラヘルツ時間分解分光システムにおいて、上記テラヘルツ波源は第1光学結晶領域上に設けられた光パルス-テラヘルツ波変換部を有し、上記検波手段は少なくとも部分的に第2光学結晶領域上に設けられたテラヘルツ波検出部を有し、上記光パルス-テラヘルツ波変換部から上記テラヘルツ波検出部に反射を介することなく直接伝搬する直接テラヘルツ波を伝搬させることのできる第1経路を有するものであり、上記第2光パルスの上記テラヘルツ波検出部への到着時点は、上記直接テラヘルツ波の上記テラヘルツ波検出部への到着時点から上記テラヘルツ透過波または反射波の上記テラヘルツ波検出部への到着時点までを含む時間帯を離散的に掃引する複数時点であることを特徴とするテラヘルツ分光システム。

IPC (1件)：

G01N 21/358

FI (1件)：

G01N21/35 106

Fターム (16件)：

2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF02 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059MM01 , 2G059MM08

引用特許：

出願人引用 (5件)

検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-343051 出願人：キヤノン株式会社
センサーユニット、テラヘルツ分光測定装置およびテラヘルツ分光測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-058977 出願人：セイコーエプソン株式会社
測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-325264 出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン

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