文献

J-GLOBAL ID：201602217418719043   整理番号：16A0973872

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(2報)-マイクロ波プラズマジェット加工における加工速度のCF₄/O₂組成依存性-

著者 (8件)： 小林勇輝 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  後藤惟樹 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ CROSS東海)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E67  発行年： 2016年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,中性子応用計測における測定時間短縮のため,集光デバイスを用いた中性子ビームの高強度化が求められている。我々はマイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより,合成石英ガラス製のマンドレルを作製し,その上にNiC/Tiの多層膜を成膜することで,中性子集光用Wolter I型ミラーの作製を目指している。本報では,合成石英ガラス基板のマイクロ波プラズマジェット加工における加工速度のCF4/O2組成依存性について評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： *中性子ビーム ,  集光 ,  *マンドレル ,  *反射鏡 ,  石英ガラス ,  *プラズマジェット ,  マイクロ波放電 ,  *プラズマエッチング ,  加工速度 ,  アルゴン ,  酸素 ,  ニッケル化合物 ,  炭化物 ,  チタン ,  多層膜 ,  脂肪族塩素化合物

分類 (2件)： その他の粒子光学  (BD02080I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： 四塩化炭素

タイトルに関連する用語 (9件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  マイクロ波プラズマジェット ,  加工速度 ,  O2 ,  組成依存性