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J-GLOBAL ID：201602223637400269   整理番号：16A0927690

多相空気流を用いた薄板の非接触双方向搬送法

著者 (3件)： 古谷克司 (豊田工大 工) ,  中村祐介 (豊田工大 工) ,  瓜田明 (豊田工大 工)
資料名： 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集(CD-ROM)  (知能メカトロニクスワークショップ(CD-ROM))
巻： 21st  ページ： ROMBUNNO.1C2-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： L4000B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガラス基板や半導体ウエハを清浄に保ちつつ搬送するためには,非接触搬送法が必要となる。本研究では,多相の空気流路から空気を吐出・吸引することで被搬送物をわずかに傾けるとともに,空気流を裏面に当てることで駆動力を発生させる。被搬送物の位置に応じて空気流を与えるパターンをシフトすることで,双方向に搬送できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *空気流 ,  *移送装置 ,  *薄板 ,  駆動力 ,  放出 ,  吸込 ,  性質
準シソーラス用語： 吸引 ,  双方向性 ,  吐出し ,  *搬送システム ,  非接触

分類 (1件)： その他の荷役・運搬機械  (QE01040B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多相 ,  空気流 ,  薄板 ,  非接触 ,  双方向