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J-GLOBAL ID：201602230726975114   整理番号：16A0472736

リサージュ走査を使ったサイズ選択クラスタの一様な蒸着

Uniform deposition of size-selected clusters using Lissajous scanning

著者 (3件)： Beniya Atsushi (Toyota Central R&D Labs., Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, Japan) ,  Hirata Hirohito (Toyota Motor Corp., 1200 Mishuku, Susono, Shizuoka 410-1193, Japan) ,  Watanabe Yoshihide (Toyota Central R&D Labs., Inc., 41-1 Yokomichi, Nagakute, Aichi 480-1192, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 34  号： 3  ページ： 031601-031601-7  発行年： 2016年05月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サイズ選択したクラスタビームを使って,表面上へサイズ選択したクラスタを蒸着できる。しかし,イオンビームの断面強度が分布するため,蒸着したクラスタの被覆率を定義するのは難しい。クラスタの凝集確率は被覆率に依存し,表面のクラスタサイズは,サイズ選択したクラスタを蒸着しても,位置に依存する。従って,表面へクラスタを一様に蒸着することが極めて重要となる。本研究ではサイズ選択したクラスタを,リザージュパターンの形でクラスタイオンを走査して表面上へ一様に蒸着した。直交する方向に設置した2群の偏向電極を試料表面の前に置いた。イオン軌跡が試料表面を充填するよう確かにするため,非有理数周波数比で電極に三角波をかけた。この方法の利点は,ラスタ走査法に比べて,設置が簡単,安価である。さらに著者らは,Al₂O₃/NiAl(110)表面上に一様に蒸着したサイズ選択Pt_n(n=7,15,20)クラスタ上のCO吸着を研究し,一様な蒸着の重要性を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 図形 ,  イオンビーム蒸着 ,  クラスタイオン ,  走査 ,  *白金 ,  クラスタ ,  一酸化炭素 ,  *吸着 ,  選択性 ,  被覆率 ,  *サイズ選択性 ,  原子クラスタ
準シソーラス用語： *イオン化クラスタビーム蒸着 ,  リサージュ図形 ,  走査法

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査 ,  サイズ ,  クラスタ ,  蒸着