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J-GLOBAL ID：201602286165070302   整理番号：16A0446178

マイクロ流路を通過する水分子の質量流量の計測

著者 (5件)： 高森研輔 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  山口浩樹 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  馬渕修 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  松田佑 (名古屋大 エコトピア科研) ,  新美智秀 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2015  ページ： ROMBUNNO.J0540106  発行年： 2015年09月12日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細加工技術の発達により数多く見られるようになったマイクロスケールの流れ場では,体積に対する表面積の比が大きくなるため,分子と固体表面の相互作用が重要となる。特に流路を通過する流量に関しては気体分子と固体表面の接線方向の運動量の交換が重要な役割を果たし,またその交換特性は分子種によって変化することが知られている。本研究では試料気体として極性分子であり吸着特性を持つH₂Oを用い,水分子の持つ特性がマイクロ流路を通過する流量に与える影響を調べた。(著者抄録)

シソーラス用語： 技術 ,  *微細加工 ,  *質量流量 ,  *マイクロチャネル ,  特性 ,  *水分子 ,  分子 ,  *流量 ,  *運動量 ,  *交換 ,  *流れ場 ,  微細加工技術 ,  吸着特性 ,  気体分子 ,  運動量交換
準シソーラス用語： マイクロ流路

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ流路 ,  水分子 ,  質量流量 ,  計測