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J-GLOBAL ID:201702223577076189   整理番号:17A0602007

感圧流路チップを用いたマイクロ気体流れの可視化計測

Pressure-sensitive channel chip for measurement of micro gas flows
著者 (5件):
資料名:
巻: 33  号: Suppl.1  ページ: 483-484  発行年: 2013年07月01日 
JST資料番号: S0973B  ISSN: 0916-4731  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)

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