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J-GLOBAL ID：201702232451169860   整理番号：17A0547970

GaAs基板中のドーパント原子の選択性:自作NMR装置による観察

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著者 (6件)： 坂井祐大 (新潟大) ,  池田宏輔 (新潟大) ,  佐々木進 (新潟大 工) ,  長竹桃子 (新潟大 工) ,  戸丸有沙 (新潟大 工) ,  西田宏樹 (新潟大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.14p-E205-13  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *基板 ,  ヒ化ガリウム ,  *ドーパント ,  原子 ,  *選択性 ,  *NMR【磁気共鳴】 ,  核スピン ,  スペクトル ,  ケイ素 ,  クロム ,  ドーピング ,  *ヒ化ガリウム基板 ,  *レギオ選択性
準シソーラス用語： *GaAs基板 ,  *位置選択性 ,  周波数スペクトル ,  Si ,  Cr ,  ドープ

分類 (3件)： 13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  (BM03082Y) ,  不純物・欠陥の電子構造  (BM02100I) ,  磁気共鳴,電子分光,その他の原子スペクトル  (BH03050U)

タイトルに関連する用語 (6件)： GaAs基板 ,  ドーパント ,  原子 ,  選択性 ,  NMR装置 ,  観察