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J-GLOBAL ID：201702232456837361   整理番号：17A0549017

スズレーザ生成プラズマからの極端紫外光(EUV)のイメージングプレート分析

Imaging plate analysis of extreme ultraviolet light (EUV) from tin laser-produced plasmas

著者 (10件)： MUSGRAVE Christopher S. A. ,  MURAKAMI Takehito ,  UGOMORI Teruyuki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHIDA Kensuke (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  FUJIOKA Shinsuke (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NISHIMURA Hiroaki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ATARASHI Hironori ,  ATARASHI Hironori (Okayama Univ., Okayama, JPN) ,  IYODA Tomokazu ,  NAGAI Keiji
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.15p-318-9  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *レーザプラズマ ,  スズ ,  *光源 ,  *極端紫外線 ,  *プラズマ源 ,  *イメージングプレート ,  半導体プロセス ,  大量生産 ,  フォトリソグラフィー ,  *EUV光源 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： レーザ生成プラズマ ,  EUVリソグラフィー

分類 (2件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： スズ ,  レーザ生成プラズマ ,  極端紫外光 ,  EUV ,  イメージングプレート ,  分析