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J-GLOBAL ID：201702237417502611   整理番号：17A0765955

ZNS薄膜の構造と光学的性質に及ぼすアニーリング処理の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Influences of Annealing Treatment on Structure and Optical Properties of ZnS Films

著者 (7件)： XU Yan-dong (College of Physics and Enginering, Qufu Normal University) ,  LI Qing-shan (College of Physics and Enginering, Qufu Normal University) ,  MENG Yan-feng (College of Physics, Ludong University) ,  ZHANG Xia (Laser Institute of Qufu Normal University) ,  YU Ye-mei (College of Physics and Enginering, Qufu Normal University) ,  LI Xin-kun (College of Physics and Enginering, Qufu Normal University) ,  DING Xu-li (College of Physics and Enginering, Qufu Normal University)
資料名： Faguang Xuebao  (Faguang Xuebao)
巻： 30  号： 5  ページ： 634-639  発行年： 2009年10月 
JST資料番号： W1380A  ISSN： 1000-7032  CODEN： FAXUEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ZNS薄膜を200°Cでレーザ蒸着によりガラスとSI(100)上に堆積し,300,400,500°Cで1時間加熱した。X線回折(XRD)、紫外/可視/近赤外分光光度計、表面と原子間力顕微鏡(AFM)を用いて、異なる基質上のサンプルの特徴を観察した。結果により、ガラス上のZNS薄膜は28.5°付近に(111)方向の高度配向成長が存在することが分かった。透過率は可視光範囲で60%~90%であった。計算結果により、薄膜の光学バンドギャップは3.46~3.53EVの間であり、その材料のバンドギャップより小さい原因は硫黄元素の欠損であることが分かった。光学バンドギャップによると,薄膜は単結晶立方晶構造のΒ-ZNS.SI(100)上に成長した多結晶ZNS薄膜である。500°Cで焼なましした後、表面も未アニール表面より更に代かき、変化規律はZNS/GLASSの類似している。これらの結果は,高温でのアニーリングが結晶粒の結合を効果的に促進し,薄膜の品質を改善することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 透過率 ,  レーザ蒸着 ,  硫黄 ,  *薄膜 ,  可視光 ,  ガラス ,  単結晶 ,  原子間力顕微鏡 ,  *光学的性質 ,  結晶粒 ,  光学ギャップ ,  X線回折 ,  多結晶 ,  *焼なまし ,  バンドギャップ

著者キーワード (4件)： pulsed laser deposition ,  films ,  optical band gap ,  surface morphology

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnS ,  薄膜 ,  光学的性質 ,  アニーリング処理 ,  研究