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J-GLOBAL ID:201702242951019270   整理番号:17A0532300

シラザン膜の摩擦特性と表面エネルギーとの相関性を調べた。【JST・京大機械翻訳】

Study on the correlation between surface energy andtribological property of silicon-nitride films
著者 (5件):
資料名:
巻: 47  号: 12  ページ: 12001-12006  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2095A  ISSN: 1001-9731  CODEN: GOCAEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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一連のシラザン薄膜を,マグネトロンスパッタリングによってコバルト合金表面上に調製した。接触角と原子間力顕微鏡(AFM)を用いて,シラザン薄膜の表面形態とエネルギーに及ぼすイオン衝撃エネルギーの影響を研究した。異なる試験環境において,膜のトライボロジー特性を研究した。結果は,イオン衝撃エネルギーを調整することによって,膜の表面湿潤性が影響され,膜のトライボロジー特性が改善されることを示した。薄膜の表面エネルギーに対する分散成分の寄与は,バイアス電圧の増加とともに増加し,膜の親水性は増加した。大気環境では,薄膜とSIC球の摩擦係数は0.4~0.6の間に維持され,湿潤環境下では,膜の摩擦係数は大幅に低下し,0.18程度に安定していた。シラザン膜は両性の分子特性を有する一種の機能材料であり、良好な湿潤環境摩擦学的性能を示し、極めて潜在的な人工関節生物機械保護膜である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  固-液界面  ,  酸化物薄膜 
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