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J-GLOBAL ID：201702247968402588   整理番号：17A0450112

ハロゲン化物CVDによる<110>配向β-SiCバルクの組成と微細構造に及ぼすCH_4/SiCl_4比の影響【Powered by NICT】

Effect of CH₄/SiCl₄ ratio on the composition and microstructure of 〈110〉-oriented β-SiC bulks by halide CVD

著者 (10件)： Tu Rong (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Zheng Dingheng (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Zheng Dingheng (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Cheng Hong (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Hu Mingwei (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Zhang Song (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Han Mingxu (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Han Mingxu (R&D, Ibiden Co. Ltd., 1-1 Kitagata, Ibigawa-cho, Ibi-gun, Gifu 501-0695, Japan) ,  Goto Takashi (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Zhang Lianmeng (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, 122 Luoshi Road, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 37  号： 4  ページ： 1217-1223  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ハロゲン化物化学蒸着プロセスは,前駆体の流速(SiCl_4とCH_4)を制御することにより配向した化学量論的β-SiCを作製する迅速に行った。組成,優先配向,微細組織および蒸着速度(R)に及ぼすC,Si前駆体(C/Si)のモル比の影響を調べた。欠陥の低密度のR C/Si<110>配向した化学量論的β-SiCの増加と共に炭素へのシリコンリッチから変換された化学量論的β-SiCへの堆積物は0.86 1.00の範囲,最大R科はR C/Si=1.00で883μm/時間であり,2hの析出で1.7mmの厚さに導くがR C/Siで得られた。リッジ状形態の形成は双晶面伝搬モデルに基づいて議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  堆積物 ,  流速 ,  モル比 ,  微細構造 ,  双晶 ,  化学量論 ,  優先配向 ,  *ハロゲン化物 ,  炭素 ,  前駆体
準シソーラス用語： 低密度 ,  蒸着速度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： β-SiC ,  CおよびSi前駆体(R C/Si)のモル比 ,  組成 ,  優先配向 ,  Microstructure

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： ハロゲン化物 ,  CVD ,  配向 ,  SiC ,  バルク ,  組成 ,  微細構造