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J-GLOBAL ID：201702289249608619   整理番号：17A0381622

正確な圧力センシングのための受動温度補償周波数AlN上のシリコン共振器【Powered by NICT】

A passively temperature-compensated dual-frequency aln-on-silicon resonator for accurate pressure sensing

著者 (7件)： Xie Qingyun (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Wang Nan (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Sun Chengliang (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Randles Andrew B. (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Singh Pushpapraj (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Zhang Xiaolin (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore) ,  Gu Yuandong (Institute of Microelectronics, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 977-980  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,差圧の正確な検出を行うことを実験的に実証した受動温度補償二重周波数微細加工共振器を報告した。共鳴デバイスは受動温度補償技術,異なるサブ共振器構造と二重共鳴周波数特性,全てが正確な圧力センシングにおけるそれを適用することを目的としたを組み込んでいる。音響波圧力センサとしてのその応用を実証した,圧力範囲150~psiで1.20%F.S.の低非線形性,および360°Cの温度範囲で0.15%F.S./°Cの低い熱零シフト報告した装置は石油掘削のような高耐久性環境における,周囲温度により,最小限の影響を受け,広い温度範囲にわたる正確な広範囲圧力センシングのために有望な可能性を有する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数特性 ,  *ケイ素 ,  *温度補償 ,  *共振器 ,  共鳴 ,  *周波数 ,  圧力センサ ,  耐久性 ,  二重共鳴 ,  *窒化アルミニウム ,  非線形性 ,  微細加工
準シソーラス用語： 温度範囲 ,  二重周波数 ,  差圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： CAD,CAM  (JE10000A) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  電気自動車  (QG07020B) ,  情報収集・整理  (AC04000I) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  航空交通管制・航法施設  (TE01030T) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  配管設計・工事  (RA07090J) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (5件)： センシング ,  温度補償 ,  AlN ,  シリコン ,  共振器