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J-GLOBAL ID：201702290988772764   整理番号：17A0364676

Ge放射線検出器の表面不動態化のためのゲルマニウム窒化物および酸窒化物膜【Powered by NICT】

Germanium nitride and oxynitride films for surface passivation of Ge radiation detectors

著者 (13件)： Maggioni G. (Dipartimento di Fisica e Astronomia G. Galilei, Universita di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy) ,  Maggioni G. (Laboratori Nazionali di Legnaro, Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Viale dell’Universita’2, I-35020 Legnaro, Padova, Italy) ,  Carturan S. (Dipartimento di Fisica e Astronomia G. Galilei, Universita di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy) ,  Carturan S. (Laboratori Nazionali di Legnaro, Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Viale dell’Universita’2, I-35020 Legnaro, Padova, Italy) ,  Fiorese L. (Laboratori Nazionali di Legnaro, Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Viale dell’Universita’2, I-35020 Legnaro, Padova, Italy) ,  Fiorese L. (Dipartimento di Ingegneria dei Materiali e delle Tecnologie Industriali, Universita di Trento, Via Mesiano 77, I-38050 Povo, Trento, Italy) ,  Pinto N. (Scuola di Scienze e Tecnologie, Sezione di Fisica, Universita di Camerino, Via Madonna delle Carceri 9, Camerino, Italy) ,  Pinto N. (INFN, Sezione di Perugia, Perugia, Italy) ,  Caproli F. (Scuola di Scienze e Tecnologie, Sezione di Fisica, Universita di Camerino, Via Madonna delle Carceri 9, Camerino, Italy) ,  Caproli F. (INFN, Sezione di Perugia, Perugia, Italy) ,  Napoli D.R. (Laboratori Nazionali di Legnaro, Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Viale dell’Universita’2, I-35020 Legnaro, Padova, Italy) ,  Giarola M. (Dipartimento di Informatica-Universita di Verona, Strada le Grazie 15, I-37134 Verona, Italy) ,  Mariotto G. (Dipartimento di Informatica-Universita di Verona, Strada le Grazie 15, I-37134 Verona, Italy)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 393  ページ： 119-126  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ge放射線検出器への不動態化層として応用される窒化ゲルマニウムと酸化窒化けい素膜の性質の詳細な研究を報告した。全ての試料は反応性RFマグネトロンスパッタリングにより室温で堆積した。蒸着パラメータ,蒸着速度,基板バイアスと雰囲気組成のような,膜マトリックス中の酸素と窒素含有量の間の強い相関を見出した。は,すべての膜が温度の関数として三~六桁から抵抗率と非常に不完全に結晶化された,非常に小さなGe窒化物及び酸化窒化物ナノ結晶から成る,電気絶縁性,ことを見出した。不動態化層としてこれらの膜の予備試験は高純度ゲルマニウム(H PGe)ダイオードの固有表面上のゲルマニウム窒化膜を蒸着し,改善された性能を測定し,漏れ電流の観点から,参照不動態化ダイオードに関して成功した。全てのこれらの興味ある結果は,ゲルマニウムベース放射線検出器の表面不動態化にこの被覆技術の応用を想定することができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  *不動態化 ,  *放射線検出器 ,  電気抵抗率 ,  *ゲルマニウム ,  酸素 ,  蒸着 ,  *窒化物 ,  窒素 ,  漏れ電流 ,  蒸着速度 ,  窒化ゲルマニウム ,  *表面不動態化 ,  *改変
準シソーラス用語： 基板バイアス ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ゲルマニウム窒化物層 ,  ゲルマニウム酸窒化物層 ,  室温堆積 ,  電気抵抗率 ,  表面不動態化 ,  Hyperpureゲルマニウム検出器

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属-絶縁体-半導体構造  (BM03085X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Ge放射線検出器 ,  表面不動態化 ,  ゲルマニウム ,  窒化物 ,  酸 ,  窒化物膜