特許
J-GLOBAL ID：201703002623527302

PZT強誘電体膜の形成方法

発明者：
田頭 裕己

田頭 裕己 について

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志村 礼司郎

志村 礼司郎 について

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高村 禅

高村 禅 について

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李 金望

李 金望 について

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下田 達也

下田 達也 について

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渡辺 敏昭

渡辺 敏昭 について

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曽山 信幸

曽山 信幸 について


出願人/特許権者：
国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 について

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三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (2件)： 須田 正義 ,  村澤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-165368
公開番号（公開出願番号）：特開2017-045992
出願日： 2016年08月26日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：
【課題】PZT前駆体液の1回の塗布で焼成後にクラックのない150nm以上の厚さを有する、結晶性が高く、誘電特性及び圧電特性が良好なPZT強誘電体膜を形成する。【解決手段】PZT強誘電体膜形成用液組成物を塗布する工程と、液組成物を塗布した膜を乾燥する工程と、乾燥した膜に酸素含有雰囲気下150〜200°Cの温度で紫外線照射する工程と、塗布工程と乾燥工程と紫外線照射工程を1回又は2回以上行った後、酸素含有雰囲気下0.5°C/秒以上の速度で昇温するか、又は酸素非含有雰囲気下0.2°C/秒以上の速度で昇温し、400〜500°Cの温度に保持することにより紫外線照射した強誘電体膜前駆体膜を焼成して結晶化させる工程とを含む。液組成物の1回当りの塗布量を、塗布1回当たりの強誘電体膜の厚さが150nm以上になるように設定し、紫外線照射するときにオゾンを供給する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
PZT強誘電体膜形成用液組成物を塗布する工程と、 前記液組成物を塗布した膜を乾燥する工程と、 前記乾燥した膜に酸素含有雰囲気下150〜200°Cの温度で紫外線照射する工程と、 前記塗布工程と前記乾燥工程と前記紫外線照射工程を1回又は2回以上行った後、酸素含有雰囲気下0.5°C/秒以上の速度で昇温するか、又は酸素非含有雰囲気下0.2°C/秒以上の速度で昇温し、400〜500°Cの温度に保持することにより前記紫外線照射した強誘電体膜の前駆体膜を焼成して結晶化させる工程と を含み、 前記液組成物の1回当りの塗布量を、塗布1回当たりの前記強誘電体膜の厚さが150nm以上になるように設定し、前記紫外線照射するときにオゾンを供給するPZT強誘電体膜の形成方法。
IPC (10件)：
H01L 21/316 ,  C04B 35/491 ,  C01G 25/00 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/318 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/187 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04
FI (8件)：
H01L21/316 G ,  C04B35/491 ,  C01G25/00 ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/318 ,  H01L41/43 ,  H01L41/187 ,  H01L27/04 C
Fターム (24件)：
4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AB05 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE08 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH03 ,  5F058BH17 ,  5F083FR00 ,  5F083GA06 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083GA29 ,  5F083JA15 ,  5F083JA38 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33 ,  5F083ZA20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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