特許
J-GLOBAL ID：201703017517305993
化学センサおよび化学センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡 健司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-249930
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098607
特許番号：特許第6062218号
出願日： 2012年11月14日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】導電性の基板層と、
検出表面としてのリン酸塩を主成分とする薄膜結晶層と、
前記基板層と前記薄膜結晶層との間に設けた中間層を備える化学センサであって、
前記中間層のうちの少なくとも1つに酸化亜鉛を主成分とする中間層を備えることを特徴とする化学センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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