特許
J-GLOBAL ID：201703019083944820
非蒸発型ゲッタポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
杉村 憲司
, 神 紘一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-233674
公開番号（公開出願番号）：特開2017-101571
出願日： 2015年11月30日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：
【課題】本発明は、より効率的に排気速度を高めることが可能な非蒸発型ゲッタポンプを提供することを目的とする。【解決手段】ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材3とを備えることを特徴とする。非蒸発型ゲッタ材は、複数の非蒸発型ゲッタピル3pからなる、非蒸発型ゲッタポンプ1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材とを備えることを特徴とする、非蒸発型ゲッタポンプ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3H076AA24
, 3H076BB21
, 3H076CC55
