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J-GLOBAL ID：200902227914934512   整理番号：09A0110001

AFMナノリソグラフィによる導電性高分子前駆体の局所表面形状操作

Surface Manipulation of Carbazole Precursor Polymer Thin Film by AFM Nanolithography

著者 (8件)： 小柳遼平 (新潟大 大学院) ,  馬場暁 (新潟大 大学院) ,  大平泰生 (新潟大 大学院) ,  新保一成 (新潟大 大学院) ,  加藤景三 (新潟大 大学院) ,  金子双男 (新潟大 大学院) ,  JIANG Guoqian (ヒューストン大) ,  ADVINCULA Rigoberto (ヒューストン大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 108  号： 348(OME2008 76-81)  ページ： 29-32  発行年： 2008年12月04日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 導電性高分子は伸縮性やドーピング効果などの様々な特徴を持ち,電子デバイスへの応用が期待されている。一方,このような電子デバイスのさらなる高集積化,高速化を目指すには微細加工技術の発展が必要不可欠である。本研究では,AFMを用いてカルバゾール前駆体ポリマー薄膜に局所的に電圧を印加することにより,エレクトロアクティブなペンダントモノマーであるカルバゾールの重合(架橋),ドーピングを試みた。また,その時の表面形状の変化をAFMにより評価を行なった。薄膜の処理条件を変えて表面形状を観察した結果,走査速度が遅く,印加電圧が大きくなるほど表面形状の変化が大きくなる傾向があることが分かった。また,AFMで局所処理を行なった部分の導電率の変化も観察された。(著者抄録)

シソーラス用語： *表面改質 ,  *リソグラフィー ,  *導電性高分子 ,  前駆体 ,  原子間力顕微鏡 ,  重合 ,  ドーピング ,  窒素複素環化合物 ,  芳香族縮合化合物
準シソーラス用語： *ナノリソグラフィー ,  AFM【顕微鏡】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： カルバゾール

引用文献 (5件)：

• 杉村博之. 走査プローブリソグラフィ. 表面技術. 2004, 55, 12, 782-787
• BABA, A. Nanopatterning and Nanocharge Writing in Layer-by-Layer Quinquethiophene/Phthalocyanine Ultrathin Films. J. Phys, Chem, B. 2006, 110, 42-45
• SUBBIAH, S. Nanolithographic Electropolymerization of a Precursor Polymer Film to Form Conducting Nanopatterns. J. Adv. Mater. 2005, 17, 1282-1285
• JEGADESAN, S. Direct Electrochemical Nanopatterning of Polycarbazole Monomer and Precursor Polymer Films : Ambient Formation of Thermally Stable Conducting Nanopatterns. Langmuir. 2006, 22, 2, 780-786
• DAGATA, J. A. Predictive Model for Scanned Probe Oxidation Kinetics. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 2710-2712

タイトルに関連する用語 (5件)： AFM ,  ナノリソグラフィ ,  導電性高分子 ,  前駆体 ,  表面形状