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J-GLOBAL ID:200902231143868382   整理番号:09A0709331

検出可能な遅延故障サイズを考慮した遅延故障診断法

著者 (8件):
資料名:
巻: J92-D  号:ページ: 984-993  発行年: 2009年07月01日 
JST資料番号: S0757C  ISSN: 1880-4535  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体の微細化加工技術の進展に伴って遅延故障に対する故障検査がますます重要になっている。しかしながら遅延故障に対する故障診断法はいまだ確立されていない。本論文では,検出可能な遅延故障サイズを考慮した微小遅延故障に対する故障診断法を提案する。提案する故障診断法は,検出可能な最小付加遅延サイズを考慮した診断用遅延故障シミュレーションを利用して微小遅延故障を診断する。評価実験結果から,提案手法は微小遅延故障に対しても十分小さな範囲に故障候補を指摘できることを示す。(著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (12件):
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