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J-GLOBAL ID：201102240256242401   整理番号：11A1492710

集積化CMOS-MEMSのための統合設計技術の検討(2)

著者 (11件)： 小西敏文 (NTTアドバンステクノロジ) ,  丸山智史 (東大) ,  松島隆明 (NTTアドバンステクノロジ) ,  三田信 (宇宙航空研究開発機構) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (東京工大) ,  伊藤浩之 (東京工大) ,  石原昇 (東京工大) ,  益一哉 (東京工大) ,  藤田博之 (東大) ,  年吉洋 (東大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.30A-E-14  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *CMOS構造 ,  *MEMS ,  *回路設計 ,  アクチュエータ ,  回路シミュレーション ,  等価回路 ,  マスク ,  レイアウト ,  過渡応答 ,  静電アクチュエータ ,  *MOS構造

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積化 ,  CMOS ,  MEMS ,  統合設計