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J-GLOBAL ID：201102289873916885   整理番号：11A1130835

NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

High Resolution Tactile Sensor with Microcantilevers by Redusing TCR of NiCr-Gauge-Thin-Film

著者 (7件)： 守口祐介 (大阪大) ,  平嶋大樹 (大阪大) ,  植松達也 (大阪大) ,  寒川雅之 (大阪大) ,  金島岳 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大) ,  野間春生 (ATR)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-11  号： 19-31  ページ： 15-19  発行年： 2011年06月30日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,圧力とせん断力を同時検知できる触覚センサの開発を行...

シソーラス用語： *温度係数 ,...

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分類 (1件)： その他の感覚  (EJ13040X)

引用文献 (7件)：

• (1) 白土・前野:「[触る]ということ一ヒトとロボットの触覚」,表面,Vol.41,No.5,pp.145-152(2003)
• (2) 橘弘人・釜鳴志朗・美馬達也・寒川雅之・金島岳・奥山雅則・山下馨・野田実・野間春生・樋口誠良:f3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性」,電気学会論文誌E,Vol.130,No.6pp.223-229(2010)
• (3) M. Sohgawa, T. Mima, H. Onishi, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, M. Higuchi, H. Noma: "Tactile Array Sensor with Inclined Chromium/Silicon Piezoresistive Cantilevers Embedded in Elastomer", Transducers 2009, Denver CO, USA, pp. 284-287 (2009)
• (4) 橘弘人・釜鳴志郎・松浦宏俊・寒川雅之・金島岳・奥山雅則・山下 馨・野田実・野間春生:「集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵 抗温度係数の低減」,電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究 会,東京工科大学,pp.97-102(2009)
• (5) 守口祐介・平嶋大樹・寒川雅之・金島岳・奥山雅則・野間春生:「カ ンチレバー型触覚センサのNiCrゲージ薄膜抵抗温度係数のエラス トマ埋め込みによる影響,平成23年度電気学会全国大会,第三分冊,pp231,(2010)

タイトルに関連する用語 (6件)： ゲージ ,  薄膜 ,  抵抗温度係数 ,  カンチレバー ,  触覚センサ ,  高分解能化