特許
J-GLOBAL ID：201103054827336269

液体導入プラズマシステム

発明者：
沖野 晃俊

沖野 晃俊 について

, 
宮原 秀一

宮原 秀一 について

, 
大場 吾郎

大場 吾郎 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東京工業大学

国立大学法人東京工業大学 について


代理人 (7件)： 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之 ,  松山 允之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-522202
特許番号：特許第4560634号
出願日： 2006年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマが生じるプラズマ室と、 プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、 液体を一滴ずつ噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステム。
IPC (3件)：
G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G01N 1/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/73 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01N 1/28 T ,  G01N 1/00 101 G ,  G01N 21/73
引用特許：
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (4件)
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