特許
J-GLOBAL ID:201303065691295128

液体噴射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-319477
公開番号(公開出願番号):特開2008-135242
特許番号:特許第5272170号
出願日: 2006年11月28日
公開日(公表日): 2008年06月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 プラズマ中に導入される試料からなる液体の流路を形成する管体と、 流路の開閉を制御する開閉弁と、 開閉弁の開時間を1.5ms以内をもって制御することのできる開閉弁制御装置と、 開閉弁の前段に配置され、管体内の液体に開閉弁の後段側の圧力より0.15MPa以内の範囲で高い圧力を付与することのできる圧力付与装置と、 開閉弁の後段に配置され、液体を前記プラズマ中に噴射する内径が10μm〜250μmの噴出口と、を備え、 開閉弁制御装置の制御により噴出口から液体を一線状に噴射する、液体噴射装置。
IPC (4件):
H05H 1/42 ( 200 6.01) ,  F02M 51/06 ( 200 6.01) ,  F02M 69/00 ( 200 6.01) ,  H05H 1/30 ( 200 6.01)
FI (4件):
H05H 1/42 ,  F02M 51/06 N ,  F02M 69/00 310 A ,  H05H 1/30
引用特許:
審査官引用 (6件)
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