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J-GLOBAL ID:201402284853158429   整理番号:14A0555418

半導体シリサイド-シリコンコンタクトを用いた新しいヘテロ接合トンネルFETとそのスケーラビリティ

A novel hetero-junction Tunnel-FET using Semiconducting silicide-Silicon contact and its scalability
著者 (15件):
資料名:
巻: 54  号:ページ: 899-904  発行年: 2014年05月 
JST資料番号: C0530A  ISSN: 0026-2714  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ソース-チャネル構造として半導体シリサイドMg2Si/Siヘテロ接合を用いた新しいタイプのシリコン系トンネルFET(TFET)を提案し,デバイスシミュレーションを提示した。シリサイドの狭いバンドギャップと,ヘテロ接合で不連続の伝導および価電子帯により,Siホモ接合TFTよりも大きなドレイン電流と小さなサブスレショルドスイングが得られた。構造最適化調査は,低いSiチャネル不純物濃度とヘテロ接合に対するゲート電極端の配置がTFETの良好な性能に導くことを明らかにした。ゲート長のスケーリングはオフ状態の漏れ電流を増加したが,ゲートスケーリングに従うドレイン電圧(Vd)低減がその現象を抑制し,その高い駆動性を保った。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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