特許

J-GLOBAL ID：201403053614042690

結晶製造装置

発明者： 宇治原 徹 ,  原田 俊太 ,  朱 燦 ,  長岡 美津也
出願人/特許権者： 国立大学法人名古屋大学 ,  日新技研株式会社
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-185971
公開番号（公開出願番号）：特開2014-043366
出願日： 2012年08月26日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：

【課題】品質に優れた単結晶を製造し得る結晶製造装置を提供すること。【解決手段】液相成長法により原料溶液中で種結晶の結晶成長面に単結晶を成長させる結晶製造装置を、原料溶液29を収容する液槽20と、種結晶1を保持する結晶保持要素3と、液槽20中の原料溶液29を流動させる溶液流動要素25と、で構成する。このうち結晶保持要素3を、液槽20内において種結晶1を保持可能であり、液槽20の深さ方向に延びるz軸に対して直交するxy平面の少なくとも一部の領域において移動可能であるようにする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

液相成長法により原料溶液中で種結晶の結晶成長面に単結晶を成長させるための結晶製造装置であって、 前記原料溶液を収容する液槽と、前記種結晶を保持する結晶保持要素と、前記液槽中の前記原料溶液を流動させる溶液流動要素と、を持ち、 前記結晶保持要素は、前記液槽内において前記種結晶を保持可能であり、前記液槽の深さ方向に延びるz軸に対して直交するxy平面の少なくとも一部の領域において移動可能である結晶製造装置。

IPC (1件)：

C30B 19/10

FI (1件)：

C30B19/10

Fターム (12件)：

4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077CG02 ,  4G077EG05 ,  4G077EG11 ,  4G077EG12 ,  4G077EG14 ,  4G077HA12 ,  4G077QA04 ,  4G077QA29 ,  4G077QA54 ,  4G077QA62

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 単結晶の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-418346   出願人：住友金属工業株式会社
• 酸化物単結晶膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-362758   出願人：株式会社村田製作所
• 液相成長方法および液相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-382279   出願人：キヤノン株式会社
• 融液原料供給装置および多結晶体または単結晶体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-121296   出願人：シャープ株式会社