特許
J-GLOBAL ID：201603006873740522
プラズマを用いた付着物質形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 大倉 奈緒子
, 玉利 房枝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-531939
特許番号：特許第5920802号
出願日： 2009年10月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】シリコーンオイルを含む前駆物質であって、プラズマの照射を受けると構成物質の一部が取り除かれると共に大気圧プラズマ中または雰囲気ガス中の付加物質が付加された撥水性の付着物質となる前記前駆物質を、前記前駆物質が付着可能な物質からなる基材の表面のみに付着させるステップと、
プラズマを生成するためのプラズマ用ガスの温度を制御することにより、照射処理にかかわるパラメータが、前記構成物質の一部を取り除くと共に前記付加物質を付加することのできる温度に設定された酸素を含む大気圧プラズマを前記前駆物質に照射するステップと、
前記大気圧プラズマの照射により前記前駆物質の前記構成物質の一部を取り除くと共に、前記前駆物質に前記付加物質としての酸素を付加して、少なくとも酸化ケイ素を含み前記前駆物質に起因する撥水性を備えた前記撥水性の付着物質を前記基材表面に形成するステップとを備えた、
プラズマを用いた付着物質形成方法。
IPC (11件)：
C23C 26/00 ( 200 6.01)
, B01J 19/08 ( 200 6.01)
, B01J 19/12 ( 200 6.01)
, C01B 13/14 ( 200 6.01)
, C01B 33/12 ( 200 6.01)
, C01G 23/047 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, H05H 1/24 ( 200 6.01)
, H05H 1/30 ( 200 6.01)
, H05K 3/08 ( 200 6.01)
, H05K 3/10 ( 200 6.01)
C23C 26/00 Z
, B01J 19/08 H
, B01J 19/08 K
, B01J 19/12 C
, C01B 13/14 Z
, C01B 33/12 C
, C01G 23/047
, H01L 21/316 P
, H05H 1/24
, H05H 1/30
, H05K 3/08 D
, H05K 3/10 C
