金属酸化物膜、金属酸化物膜の製造方法および成形品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：間山進也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281493
公開番号（公開出願番号）：特開2006-096577
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】基板上に形成された結晶性の金属酸化物膜、該金属酸化物膜を製造するための製造方法および該金属酸化物膜が形成された成形品を提供する。【解決手段】本発明の金属酸化物膜12は、基材10に付着した前駆体物質の結晶化を促進する処理後にプラズマ処理により結晶化される。結晶化を促進する処理は、前記前駆体物質の膜に真空紫外線を照射する処理でもよいし、格子定数が、金属酸化物膜を形成する金属酸化物の格子定数の±15%以内の粒子として混合する処理でもよい。また、本発明は、金属酸化物膜を形成させるための前駆体物質を基材10に付着させ、前記前駆体物質の結晶化を促進する処理が施された、またはシードを含む前駆体膜を形成する工程と、基材10に付着した前駆体膜を、プラズマ処理することにより、前駆体膜を結晶化させ金属酸化物膜12とする工程とを含む金属酸化物膜の製造方法を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材に付着した前駆体物質から形成される結晶性の金属酸化物膜であって、前記金属酸化物膜は、前記前駆体物質の結晶化を促進する処理後のプラズマ処理により結晶化される、結晶性の金属酸化物膜。

IPC (3件)：

C01B 13/14 , C01B 13/32 , C01G 23/04

FI (3件)：

C01B13/14 Z , C01B13/32 , C01G23/04 C

Fターム (8件)：

4G042DB16 , 4G042DB17 , 4G042DD02 , 4G042DE09 , 4G042DE14 , 4G047CA02 , 4G047CB06 , 4G047CD02

引用特許：

出願人引用 (3件)

軸部品の端面加工装置と軸部品の端面加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-306174 出願人：スター精密株式会社
特願2002-077919
金属酸化物薄膜及びその製造方法
公報種別：再公表公報出願番号：JP2002010181 出願人：株式会社先端技術インキュベーションシステムズ

審査官引用 (7件)

金属酸化物薄膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-100664 出願人：東陶機器株式会社
特開平4-187506
特開平4-119905

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