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J-GLOBAL ID：201702227504037952   整理番号：17A0033253

スパッタ法で作製されたMoS₂薄膜のRHEEDと光電子分光による評価

著者 (15件)： 米田允俊 (奈良先端科学技術大学院大) ,  武田さくら (奈良先端科学技術大学院大) ,  田口宗孝 (奈良先端科学技術大学院大) ,  松田博之 (奈良先端科学技術大学院大) ,  大橋匠 (東京工大) ,  清水淳一 (東京工大) ,  ANG Artoni Kevin Roquero (奈良先端科学技術大学院大) ,  橋本由介 (奈良先端科学技術大学院大) ,  深見駿 (奈良先端科学技術大学院大) ,  田中一光 (奈良先端科学技術大学院大) ,  岡本隆志 (奈良先端科学技術大学院大) ,  江波戸達哉 (奈良先端科学技術大学院大) ,  大門寛 (奈良先端科学技術大学院大) ,  若林整 (東京工大) ,  木下豊彦 (高輝度光科学研究セ)
資料名： 真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 57th  ページ： 82  発行年： 2016年11月29日 
JST資料番号： L1308A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 固体素子 ,  *硫化モリブデン ,  スパッタ蒸着 ,  蒸着膜 ,  *RHEED ,  高速電子回折 ,  *光電子分光法 ,  MOSFET ,  不純物 ,  *電子状態 ,  混合気体 ,  焼なまし ,  結晶度 ,  電子素子 ,  硫化モリブデン(IV)
準シソーラス用語： 二硫化モリブデン ,  フォーミングガス ,  アニーリング

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタ法 ,  作製 ,  MoS2 ,  薄膜 ,  RHEED ,  光電子分光 ,  評価