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J-GLOBAL ID：202302273532336729   整理番号：23A2513978

プラズマ駆動型科学:プラズマプロセスの新展開に向けて

Plasma-driven science: Toward radical innovation on plasma processing

著者 (9件)： 石川健治 (名古屋大) ,  浜口智志 (大阪大) ,  成田絵美 (量研) ,  白谷正治 (九大) ,  冨谷茂隆 (ソニー) ,  室賀駿 (産業技術総合研) ,  佐藤孝紀 (室蘭工大) ,  野崎智洋 (東京工大) ,  吉田朋子 (大阪公大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.16p-A402-10  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 2018年の秋の応物にて「プラズマインフォマティクス~ビックデータ解析の活用によるプラズマ科学の発展~」が開催され,情報科学の手法を取り入れたデータ駆動型科学の手法が紹介された.それからの約5年間に広く浸透し多くの進展がみられる.この経過を...【本文一部表示】

シソーラス用語： イオン化 ,  *プラズマ ,  電子衝突 ,  励起 ,  情報科学 ,  ネットワーク ,  化学反応 ,  非平衡状態 ,  緩和現象 ,  気相 ,  前駆体 ,  *プラズマ処理 ,  反応場 ,  ビッグデータ ,  複雑系 ,  人文科学

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  科学 ,  プラズマプロセス ,  展開