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J-GLOBAL ID：202302287407689017   整理番号：23A2513130

NbN電極上に作製したエピタキシャル(Al,Sc)N膜の電気特性評価

Evaluation of electrical properties for epitaxial (Al,Sc)N film deposited on NbN electrode

著者 (6件)： 安岡慎之介 (東京工大) ,  大田怜佳 (東京工大) ,  岡本一輝 (東京工大) ,  清水荘雄 (物材研) ,  清水荘雄 (JST-さきがけ) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 70th  ページ： ROMBUNNO.15p-A404-17  発行年： 2023年02月27日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： X線回折 ,...

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分類 (2件)： 生体膜一般  (EF04010G) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (7件)： NbN ,  作製 ,  エピタキシャル ,  Al ,  Sc ,  電気特性 ,  評価